SJT 31099-1994 倒角机完好要求和检查评定方法
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ID： |
3BA3B77207304DA18972DB8B052C8173 |
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文件大小(MB)： |
0.23 |
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页数： |
2 |
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文件格式： |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和国电子行业标准,sj/t 31099-94,倒角机完好要求和检査评定方法,1主题内容与适用范围,本标准规定了 8614型和SVG-14型倒角机的完好要求和检查、评定方法,本标准适用于集成电路生产用倒角机.,2完好要求,2.1 性能,倒角机的性能、加工精度应能满足生产エ艺要求,质量达到规定指标。生产效率应能达到,设计能力的90%以上,2.2 操纵系统,2.2.I 各操作按钮启动灵活可靠,标志齐全,平面定向盘调节自如,2.2.2 各传感器限位装置齐全,灵敏可靠,2.3 传动系统,2. 3-1步进工作台传送架运行可靠,丝杆传动及皮带传送自动上、下料工作正結,2.3- 2主轴上、下运动,自动旋转无异常声响,2. 3. 3园片定中心机构定位准确,导轨通道工作平稳,滚轮传动无异常现象,砂轮臂运动可,靠,直径微调、粗调灵活准确,2-4气路系统,2.4.I 气路系统各元件动作灵敏、可靠,各部压カ应在设备设计范围之内,2.4.2 气路系统中失压和过压保护必须可靠,2.4.3 汽缸安装位置正确,工作平稳,行程到位,2.4.4 各电磁阀,流量表头工作正常,2.4.5 各气路及真空接头牢固,无漏气及漏真空现象,2.4.6 真空室密封好,防止倒角甩干片时圆片脱落,真空过滤器工作正常,2.5 电气系统,2 .5.1电气控制箱内布线整齐,各指示灯齐全完整,指示正确可靠。各种线路标志明显，联接,可靠。线路无破损老化,保护装置齐全、有效,2 . 5.2电气系统装置齐全,管线完整、性能良好,运行可靠,2 . 5-3设备故憶诊断工作正常,程序设定及运行正常,2 .5.4各传感器工作可靠,面板显示齐全,正常按钮开关灵活可靠,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准 1994-06-01实施,SJ/T 31099-94,下载,2.6 自动控制系统,2.6.1 主控单元、元器件性能可靠,运算正确控制软件功能齐全,自检程序运行正常,2.6.2 位置控制单元,速度控制单元,连接单元的元器件性能可靠,定位准确、运行平稳,各控,制信号和控制回路畅通,2.6 -3手动数据输入和显示功能齐全、有效,2.6.4 伺服电机运行平稳,噪音、温升符合电机出厂指标,工作可靠,2.6.5 手摇脉冲发生器动作灵敏,到位准确,2.6.6 程序输入/输出装置保持清洁,输入/输岀程序正确无误,2. 6./控制柜内部清洁,布线整齐、线路无老化,各线路标志明显,2.7 安全防护,2. 7.1各安全防护装置牢固可靠,齐全、完整,2. 7.2外壳接地可靠、安全,标志明显,2.8维护保养,按SJ/T 31002—94《设备维护保养通则》执行,3检查、评定方法,3.1 检査方法,完好要求中,凡有参数要求的条款,应运用相应检测器具测定;其余在设备现场,采用主观,法检查,3.2 评定方法,3.2.1 主要项目有 2.1、2.2.2、2.5.3、2.5,4、2.7.1~2.7.2。其余为次要项目,3.2-2 主要项目有一项不符合要求,为不完好设备;次要项目有二项不符合要求,亦为不完好,设备,3.2.3 完好设备的维护保养,应达到优等设备标准,附加说明:,本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出,本标准由中国华晶电子集团公司组织起草,本标准主要起草人:徐海祥、顾军建、周惠文、吴正伟、糜祖熙,2……
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